单片晶圆拾取和放置：

SPPE是一种单晶圆拾取和放置机器，它使用非真空端部执行器在盒内或盒间传输晶圆，典型吞吐量为400wph。

晶圆转移前的卡塞映射

传感器在整个传输过程中检查晶片的安全性

触摸屏界面

可以创建特定的工艺配方

SECS/ GEM (Option)

静电防护

能够处理多种晶圆厚度

检查模式显示晶片在空LP2处进行目视检查

最小晶圆接触真空自由端部执行器手指

TAIKO/MEMS处理-边缘接触设计（可选）

单片晶圆拾取和放置：

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