台式晶圆分选机

SPPE-SORT是一款基于SPP架构的台式晶圆分选机。

无真空末端执行器

晶圆转移前的卡塞映射

传感器在整个传输过程中检查晶片的安全性

触摸屏界面

可以创建特定的工艺配方

SECS/ GEM (选配)

静电防护

带有Congnex ID阅读器的嵌入式对准器

最小晶圆接触真空自由端部执行器手指

TAIKO/MEMS处理-边缘接触设计（可选）

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