多功能镀膜系统满足研究所和研发部门对真空薄膜沉积的性能要求，占用空间小，具有超高的性价比，可以向客户提供优质的服务。

多功能镀膜系统特点

小容量，快速重复工作流程；

活性沉积区域最大为200nm（8英寸）直径；

适应多种衬底；

可配备多个溅射源（最多至4个）；

连续沉积模式或联合沉积模式；

不同工作气体控制；

共焦阴极分布；

50mm,75mm, 或100mm磁控溅射源；

内置阴极角倾斜；

阴极挡板；

直流,脉冲，高频（HG或MF）电源；

衬底，加热，冷却，或者RF/DC偏压；

可添加预抽室。

科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化，为广大中国用户提供仪器、设备，周到的技术、服务和*的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国，纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域，都需要与欧美发达国家*接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代，我们愿意化为一座桥梁，见证中国科技水平的提升，与中国科技共同飞速成长。