开尔文探针系统-半导体表征

开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。

材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种灵敏的表面分析技术。

开尔文探针系统-半导体表征包括：

□   单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；

□   扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；

□   超高真空(UHV)开尔文探针；

□   湿度控制的腐蚀开尔文探针；

(ASKP)

   ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收的扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：

□    2毫米，50微米探针；

□    功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；

□    针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；

□    表面势和样品形貌3维地图；

□    探针扫描或样品扫描选配；

□    彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；

□    参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；

□    备用的针尖放大器；

□    24个月超长质保期；

仪器的特色

□    全球台商用的*意义上的；

□    最高分辨率的功函数和表面势，好的稳定性和数据重现性；

□    非零技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；

□    高度调节技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受　　　　　　　　　　　　　　样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；

□    该领域内，拥有好的信噪比；

□    快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；

□    功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；

□    所有开尔文探针参数的全数字控制；

应用领域

   吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学；

目前通过我司购买的的开尔文探针测试系统，目前在南昌航空大学工作正常，运行稳定。