深能级瞬态谱仪是半导体领域研究和检测半导体杂质、缺陷深能级、界面态等的重要仪器。根据半导体P-N结、金－半接触结构肖特基结的瞬态电容（△C～t）技术和深能级瞬态谱（DLTS）的发射率窗技术测量出的深能级瞬态谱，是一种具有高检测灵敏度(检测灵敏度通常为半导体材料中掺杂济浓度的万分之一)的实验方法，能检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态。

　　通过对样品的温度扫描，可以给出表征半导体禁带范围内的杂质、缺陷深能级及界面态随温度（即能量）分布的DLTS谱，集成多种全自动的测量模式及全面的数据分析，可以确定杂质的类型、含量以及随深度的分布。深能级瞬态谱仪集成多种自动的测量模式及全面的数据分析，可以确定杂质的类型、含量以及随深度的分布，也可用于光伏太阳能电池领域中。

　　该仪器测量界面态速度快，精度高，是生产和科研中可广泛应用的测试技术，自动连线检测，自动电容补偿功能，探测灵敏度高，瞬态电流测量，深能级瞬态谱分析，可调的混合比例，1：1到1：100。

　　随着电脑技术的发展，使得在短时间内进行复杂计算成为可能，在纯指数发射过程模型的基础上，用各种数学模型分析测量到的瞬态过程，如傅里叶转换、拉普拉斯转换、多指数瞬态拟合、ITS（等温瞬态光谱）信号重叠法、温度扫描信号重叠法（重折叠）。

　　深能级瞬态谱仪可更换SFM附件，应用于：化学淬灭，光学淬灭以及光学延时，冷冻淬灭，X-射线散射停流，中子色散停流，EPR停流，低温停流，自动滴定，停流电导，快速混合温度突变系统，微重力实验研究等。