飞行时间二次离子质谱是一种非常灵敏的表面分析技术，通过用一次离子激发样品表面，打出极其微量的二次离子，根据二次离子因不同的质量而飞行到探测器的时间不同来测定离子质量，具有高分辨率的测量技术。

   飞行时间二次离子质谱可以广泛应用于物理，化学，微电子，生物，制药，空间分析等工业和研究方面，可以提供表面，薄膜，界面以至于三维样品的元素、分子等结构信息，其特点在二次离子来自表面单个原子层分子层（1nm以内），仅带出表面的化 学信息，具有分析区域小、分析深度浅和不破坏样品的特点，广泛应用于物理，化学，微电子，生物，制药，空间分析等工业和研究方面。

   当产品表面膜层太薄，无法使用常规测试进行成分分析，可进行分析，利用可定性分析膜层的成分。当产品表面出现异物，但是未能确定异物的种类，利用成分分析，不仅可以分析出异物所含元素，还可以分析出异物的分子式，包括有机物分子式。当膜层与基材截面出现分层等问题，但是未能观察到明显的异物痕迹，可使用分析表面痕量物质成分，以确定截面是否存在外来污染，检出限高达ppm级别。

   取样的时候避免手和取样工具接触到需要测试的位置，取下样品后使用真空包装或其他能隔离外界环境的包装， 避免外来污染影响分析结果。飞行时间二次离子质谱测试的样品不受导电性的限制，绝缘的样品也可以测试。飞行时间二次离子质谱采用一次离子轰击固体材料表面，产生二次离子，并根据二次离子的质荷比探测材料的成分和结构。相对于XPS、AES等表面分析方法，飞行时间二次离子质谱可以分析包括氢在内的所有元素，可以分析包括有机大 分子在内的化合物，具有更高的分辨率。