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低温等离子体源是一种在较低温度下产生的等离子体,其电子温度远大于离子温度和原子温度,通常电子温度在几到几十电子伏特之间,而离子温度约为室温。这种等离子体的产生不...
2020-6-18
2020-5-21
2020-4-9
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