手动/自动批量晶圆转移：

AWT/MWT（自动/手动晶圆传送）机器在卡塞之间水平传送晶圆。

安全联锁装置（AWT）

卡塞放置传感器

晶圆传输过程中异常电阻的电机过电流检测      

当联锁激活时，晶片传输将停止

MWT有一个自返回的传送臂，因此机器随时可以使用。

反向卡塞装载时可以批量翻转

手动/自动批量晶圆转移：

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