自动AI微晶圆检测：

微晶圆检测

安装在显微镜上的Cognex InSight ViDi D905相机

X/Y工作台在显微镜下移动晶片

手动装载系统，配备自定心晶圆装载台，计划采用全自动系统

KLARF文件生成可能

自动AI微晶圆检测最小缺陷尺寸待定

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