派瑞林真空镀膜机：

聚对二甲苯镀膜系统（Parylene Coating System）

蒸发器   最高 200°C（最多 10 级）

高温分解       最高 800°C（3 分区加热器）

腔室   内径 200 x 长度 420（mm）

操作       手动和自动

尺寸   宽1600 x 深800 x 高1300（毫米）

派瑞林真空镀膜机：

蒸发器

单块铝（非焊接，泄漏最小化）

加热器 ： 最高 200 °C

用于隔热的门加热器：最高 200 °C

汽化温度设置：最多 10 步（温度和时间）

裂解器

管材：石英（或铬镍铁合金作为替代品）

火焰炉加热器 ： 最高 800°C

3 x 分区（独立）加热器

温度传感器：2线K型传感器x 3ea（每个加热器的每个传感器）

沉积室

单块铝（非焊接，泄漏最小化）

均匀气流设计（第10-1701381号）

腔室尺寸 ： 内径 200 mm × L. 420 mm

样品装载板

旋转器

冷阱

疏水阀方式：直接疏水阀、玻璃冷凝器

温度 ： – 80°C

环境温度 ： 5 ~ 30°C

真空

泵：油旋转泵

泵排量：1，000 升/分钟 @ 60Hz

极限压力： 5×10-3 托

控制器

DSP 板载信号控制器

自动/手动操作

交互式集成软件

10.2“ 触摸屏 PC 和 USB 数据传输

保存和加载工艺配方

实时过程图和错误监控 

系统尺寸

主机系统 ： 1600×800×1300 （宽×深×高， 毫米）

冷阱 ： 505×620×750 （宽×深×高， 毫米）

真空泵 ： 283×736×360 （宽×深×高， 毫米）

* 尺寸可能根据客户的要求和产品升级而有所不同