详情介绍
英国KP开尔文探针扫描-半导体表征
开尔文探针扫描系统包括:
□ 单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境);
□ 扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境);
□ 超真空(UHV)开尔文探针;
□ 湿度控制的腐蚀开尔文探针;
英国KP开尔文探针扫描-半导体表征
系统配置
这是一款可以被大多数客户所接收的扫描开尔文探针系统,它是在ASKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置,其规格如下:
□ 2毫米,50微米探针;
□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖),5-10 meV(50微米针尖);
□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内;
□ 表面势和样品形貌3维地图;
□ 探针扫描或样品扫描选配;
□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置;
□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌);
□ 备用的针尖放大器;
□ 24个月超长质保期;
仪器的特色
□ 商用的*意义上的开尔文探针系统;
□ 高分辨率的功函数和表面势,的稳定性和数据重现性;
□ 非零技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作,与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比,不会收到噪声的影响拥有高灵敏度;
□ 高度调节技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受样品形貌的影响,针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移;
□ 该领域内,拥有的信噪比;
□ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间,远快于其他公司产品;
□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器,与通常的压电驱动器相比,VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作;
□ 所有开尔文探针参数的全数字控制;
ON | 非零探测 Off Null detection |
HR | 高度调节模式 Height Regulation mode |
SM | 实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal |
UC | 用户通道,同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parameters |
DC | 电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effects |
PP | 平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode |
SA | 信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) |
WA | 功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting |
DC | 所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters |
QT | 针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolution |
DE | 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software |
OC | 输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit |
FC | 法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield) |
RS | 金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample |
额外选配项 | |
SPV | 表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package |
RH | 相对湿度腔 Relative Humidity Chamber |
AC | 控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet |
EDS | 外部数据示波镜 External Digital Oscilloscope |
OPT | 彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts |
ST | 针尖置换 Replacement Tips |
GCT | 镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement Tips |
XYZ | 25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage |
应用领域
吸附,电池系统,生物学和生物技术,催化作用,电荷分析,涂层,腐蚀,沉积,偶极层形成,显示技术,教育,光/热散发,费米级扫描,燃料电池,离子化,MEMs,金属,微电子,纳米技术,Oleds,相转变,感光染色,光伏谱学,高分子半导体,焦热电,半导体,传感器,皮肤,太阳能电池,表面污染,表面化学,表面光伏,表面势,表面物理,薄膜,真空研究,功函数工程学;