1， 多种扫描模式，可以精细扫描到几百万个点。
2， 可以配置CCD相机选定和观测扫描区域
3， 提供详细的指标数据，包括：于晶片厚度，弯曲/平坦度，表面型貌，表面粗糙度检测
4， 可得到2维的彩色对比图，反应整个晶片的厚度分布；3维的彩色型貌，反应整个晶片的表面分布
5， ASCII和EXCEL数据输出格式
6， 非常方便验证数据的准确性
7， 具有内部联网功能

产品规格：
1， zui小厚度层：3um
2， 光斑大小：20um
3， zui大检测速率：4KHz， 16KHz（因型号而异）
4， 准确性：0.2um
5， 重复性：0.05um，0.1um（因型号而异）
6， 相干光波长：1300nm