基于数字式伺服的运动控制器是超精密定位系统的关键。由于数字伺服滤波器是数字式伺服的运动控制器的核心，从而数字伺服滤波器的设计将影响系统的定位精度。

　　数字伺服滤波器是指系统的闭环控制与调节采用数字技术，所有控制调节实现软件化。调节器的全部软件化使控制理论中很多控制思想和手段得以应用。同时利用软件很容易完成参数的自由化和故障的自诊断功能，使系统控制性能大大提高，从而克服了模拟型闭环伺服系统对微弱信号的信噪难分离、控制精度难提高、容易受机械摩擦和温度影响，位置环控制产生零点漂移误差等缺点。

　　在位置PID调节器中比例增益Kp的大小决定系统的快速性，积分增益Ki的作用是消除系统的静态误差。微分增益Kd的作用是增加阻尼，减少振荡。调节过程是先调节Kp，再调节Ki，然后调节Kd。第1次设定Ki增益时，如果把Ki设定为一非O值将引起突然的“跳跃”。为避免这种情况，需要把积分限(积分部分的饱和控制器)设置为0，Ki设定为期望值，再设置积分限到期望的积分限。这样就清除了所有以前的积分值，从而使积分从前一个点开始平稳运算。接着调节Kvff，Kaff，从而提高系统的稳态精度。最后调节Kf，从而克服摩擦力的影响。

　　激光直写在启动阶段调节Kvff，Kaff过大会使速度过快而导致位置过冲。在减速阶段调节Kvff，Kaff过小，会使定位时间过长。根据*控制思想，如果系统按照最大加速度启动，最大速度运动，最大减速度制动，就可以以最短时间无超调地达到协调点。因此，参数调节时应按照启动，匀速，减速3个阶段分别设置。